کیمیکل مکینیکل پالش کرنے والی مشین الیکٹرانکس اور کمیونیکیشن ٹیکنالوجی، ایوی ایشن اور ایرو اسپیس سائنس اور ٹکنالوجی کے شعبوں میں استعمال ہونے والا ایک پروسیس ٹیسٹ آلہ ہے۔
سلیکون ویفرز کو پیسٹ کرنے کے لیے ڈیونائزڈ پانی کا استعمال کریں یا ویکیوم جذب کرنے والے سلیکون ویفرز کو پالش کرنے کے لیے استعمال کریں، سیلیکون ویفرز کو ویکسنگ اور پیسٹ کرنے کے روایتی طریقے کو چھوڑ کر، جو پالش کرنے کے بعد سلیکون ویفرز کی صفائی کے لیے موزوں ہے۔ 2. بیک پریشر کی تقریب کے ساتھ، یہ چمکانے کی یکسانیت کو نمایاں طور پر بہتر بنا سکتا ہے۔ 3. زیادہ چمکانے سے بچنے کے لیے پولش اینڈ پوائنٹ کا پتہ لگانے کے نظام سے لیس۔ SiO2 کو مثال کے طور پر لیتے ہوئے، WIWNU (ان-چِپ غیر یکسانیت) 3 فیصد سے کم یا اس کے برابر، WTWNU (ان-چِپ غیر یکسانیت) 5 فیصد سے کم یا اس کے برابر، اور RMS (20μm ×20μm) 0.4nm سے کم ہے۔
